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1200雙溫區觸屏CVD系統

1200雙溫區觸屏CVD系統

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PT-T1200 CVD是一種管式爐,配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。?

簡介: 
    PT-T1200 CVD是一種管式爐,配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。 
 
技術參數:
模型 PT-T1200
第一部分:標準件
 
 
 
 
 
 
 
管式爐 
展示 LED類型
最大限度溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:0~10℃/min
溫區 300mm + 300mm 雙區
加熱元件 電阻絲
熱電偶 K型
溫度控制精度 ±1℃ ()
管尺寸 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)
材質:石英管 
溫度控制 通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 不銹鋼真空法蘭。
法蘭的一端有 2 個帶倒鉤的針閥,裝有機械壓力表。
 
法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 
功率 220V,50 Hz,最大單相 6KW
真空泵 旋片真空泵 極限真空 10 -3  Torr。
管內的真空度約為 10 -1  Torr。
(RM溫度和空管條件)
流量:2.6 L / S
 (泵照片僅供參考,實際外觀取決于最終設計)
旋片真空泵將設計成帶輪子的推車。帶連接附件
 
包括數字真空計
3.8x10 -5 至 1125 Torr 測量范圍
耐腐蝕,與氣體類型無關

 
帶液晶觸摸屏控制器的定制質量流量計
(七星級品牌)
 



 
一個浮子流量計 + 四個精密質量流量計:
MFC 精度為:±1.5% FS
MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm
氫氣 MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3 用于甲烷:氣體流量范圍 0~100 sccm
氬氣 MFC 4: 氣體流量范圍 0~100 sccm
氧氣 MFC 5: 氣體流量范圍 0~100 sccm
 
FFC 1 氬氣和氮氣混合氣體: 氣體流量范圍 0~100sccm
 
一種氣體混合罐(僅適用于 5 MFC)安裝在底殼上,5 個不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制 5 種氣體混合。
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