此款PT-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。
技術參數：
| 產品名稱 |
1200度CVD設備 | |
| 型號 | PT-T1200 | |
| 第一部分：標準件 | ||
| Tube Furnace   |
顯示 | 7”液晶觸摸屏 |
| 最高溫度 | 1200℃ | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區長度 | 440mm | |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管 | 100 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材質：石英管 |
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| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 1 個帶刺針閥，安裝有機械壓力表。 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 |
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| 功率 | 220V, 50 Hz, 最大單相. 4KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10-3 托。 管內的真空度約為 10-1 Torr。 （RM溫度和空管條件） 流量：2L/S 旋片真空泵將被設計成帶輪子的推車。 帶連接附件 包括數字真空計 |
| 質量流量計 帶液晶觸摸屏控制器 |
一個浮子流量計+五個精密質量流量計： MFC 精度為：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮氣：氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm 一個氣體混合罐（僅適用于5 MFC）安裝在底殼上，4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側，用于手動控制4種氣體混合。 |
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