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1600℃ 3通道CVD設備

1600℃ 3通道CVD設備

1600℃ 3通道CVD設備

PT-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。

產品介紹:  
    PT-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
技術參數:
產品名稱 3通道CVD設備
型號 PT-T1600 -3M
顯示 液晶觸摸屏
最高溫度 1600℃
工作溫度 ≤1500℃
升溫速率 0~10℃/min
溫區 300mm
加熱元件 MoSi2
熱電偶 B型
溫度控制精度 ±1℃
爐管尺寸 80x1000mm
材質:氧化鋁管
 
塞磚 包括兩個纖維陶瓷塊,用于阻擋來自管內的熱輻射(陶瓷塊必須在加熱前完全插入爐腔)。
 
溫度控制 PID自動控制
真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
電源 220V, 50 Hz, 單相最大6KW
質量流量計
(液晶觸摸屏)
三臺精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3:氣體流量范圍0~200 sccm (氣體流量范圍可根據您的要求) 底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
 
更多參數可按需定制
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