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高溫化學氣相沉積系統

高溫化學氣相沉積系統

高溫化學氣相沉積系統

主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝研究。

產品介紹:
    此款定制高溫氣相沉積系統主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝的研究。
產品特點:
  1、該系統由高溫沉積室、升華室、供氣系統及真空系統組成。采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,智能控溫無需要人看守。
  2、爐膛采購氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封,密封法蘭上安裝有相關進氣口及出氣口
應用范圍:
     廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品參數:
產品名稱 定制高溫CVD系統
  沉積爐
產品型號 PT-T1500CVD-DZ
爐膛模式 開啟式
爐膛材料 氧化鋁耐火纖維
加熱元件 U型硅鉬棒
極限溫度 1600℃高溫區     
工作溫度 ≤1500℃高溫區    
升溫速率 ≤10℃/min
加熱溫區 單溫區、雙溫區、多溫區
溫區總長度 200、300、400mm
爐管材質 剛玉管
爐管直徑 40、50、60、80、100mm
密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
底部法蘭有三個進氣口 方便進氣
底部法蘭加支架  方便工件放在沉積爐低溫區
控制模式 每個溫區單獨 30段智能PID程序控溫
溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件 B型雙鉑銠熱電偶
供電電源 220V/380V   50HZ
供氣系統     集成在控制柜上
氣體通道 可同時連接多種氣源
流 量 計 浮子流量計
A路量程  1L/MIN
B路量程  1L/MIN
C路量程   1L/MIN
氣路壓力 -0.1~0.15 MPa
截止閥 不銹鋼材質
氣體連接管 1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
最高溫度 700
工作溫度 500
爐膛尺寸 定制
開門方式 上開
進氣口 一個進氣口
出氣口 一個出氣口
售后服務 12個月質保(易耗件及人為損壞除外),終身保修
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