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1200℃雙管CVD系統

1200℃雙管CVD系統

1200℃雙管CVD系統

1200℃雙管CVD系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻

產品概述:
該系統是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。

技術參數:

產品名稱

1200℃雙管CVD系統

第一部分: 1200℃雙管CVD系統

產品型號

PT-1200T

爐管尺寸

雙石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

加熱區

220+220mm

供電電源

230V,單相,50HZ

功率

4.0 kw

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-20°C/min

熱電偶

 K型

第二部分: 水冷系統

法蘭

1.水冷機 CW-3000

2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.

第三部分  真空系統

真空系統

1. 防腐數顯真空計   

2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

第四部分  混氣系統

質量流量計

量程:

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm  

.......

雙管CVD系統

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